Circuits intégrés - Import export

Détection de l'inclinaison dans le champ gravitationnel au moyen de capteurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) avec numérisation et linéarisation ultérieure par commande Les capteurs MEMS sont des circuits intégrés fabriqués en micromécanique silicium en vrac. Des structures micromécaniques mobiles sont utilisées pour former des capacités doubles. Si ces structures sont déviées lors d'accélérations, par exemple lors d'accélérations dues à la gravité (g), il se produit des variations de capacité qui sont mesurées et traitées ultérieurement. La tension de sortie suit la fonction U ~ g * sin(α). L'angle α est ici l'angle d'inclinaison du capteur mesuré par rapport au vecteur g. Ces capteurs mesurent avec précision, ont une longue durée de vie et sont très robustes. Les axes de mesure fonctionnent indépendamment les uns des autres.