Traitement de surface par plasma | Pico

Système de traitement de surface par plasma, basse pression, nettoyage au plasma
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Descriptif

Les installations plasma de Diener electronic se sont imposées depuis longtemps dans les secteurs industriels les plus divers. Avec l'installation plasma basse pression Pico, vous misez sur la technologie plasma à froid sous vide moderne et pérenne. Le volume de la chambre de 5 à 8 litres de ce système plasma offre suffisamment de place pour les laboratoires et les productions en série. Le traitement par plasma à basse pression est une technique éprouvée pour le nettoyage fin contrôlé, l'amélioration de l'adhérence (activation et gravure) et le revêtement de couches minces sur les surfaces de substrats. Le plasma est généré par l'utilisation d'une tension à haute fréquence dans la chambre à vide. Le gaz de traitement qui y est introduit est alors ionisé. Application: Nettoyage des résidus organiques sans COV Activation avant peinture, collage, encapsulage, ... Gravure du PTFE, de la laque photosensible, des couches d'oxyde, ...

Caractéristiques produit

Dimensions (appareil de table)
310 - 560 mm x 330 - 860 mm x 420 - 600 mm (LxHxP)
Dimensions (appareil sur pied)
600 mm x 1700 mm x 800 mm (LxHxP)
Chambre à vide (material)
Acier inoxydable, Aluminium, Verre de quartz, Verre borosilicate
Chambre à vide (dimensions)
env. B 160 mm x H 160 mm x T 200 - 300 mm; Ø 130 mm, T 200 - 320 mm
Chambre à vide (volume)
env. 5 - 8 litres
Chambre à vide (fermeture)
couvercle, porte à charnière
Alimentation en gaz
Vannes à aiguille / Débitmètres massiques (Mass-Flow-Controller (MFCs)
Mesure de pression
Pirani, Manomètre capacitif (pour version gaz corrosif)
Générateurs
40 kHz; 100 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz
Électrodes
Un ou plusieurs niveaux
Systèmes de commande
Semi-automatique, Bouton rotatif, Basic PC, Full PC
Alimentation en tension
230 V / 400 V / 50 - 60 Hz
Pompes à vide
Puissance d'aspiration : 6 m³/h

Domain icon Fabricant/ Producteur

72224 Ebhausen - Allemagne

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