Traitement de surface par plasma | Tetra 320R

Système de traitement de surface par plasma, basse pression, nettoyage au plasma
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Descriptif

Les installations plasma de Diener electronic se sont imposées depuis longtemps dans les secteurs industriels les plus divers. Avec l'installation plasma basse pression Tretra 320R, vous misez sur la technologie plasma à froid sous vide moderne et pérenne. Le volume de la chambre de env. 320 litres de ce système plasma offre suffisamment d'espace pour les fabrications en série / l'automatisation. Le traitement par plasma à basse pression est une technique éprouvée pour le nettoyage fin contrôlé, l'amélioration de l'adhérence (activation et gravure) et le revêtement de couches minces sur les surfaces de substrats. Le plasma est généré par l'utilisation d'une tension à haute fréquence dans la chambre à vide. Le gaz de traitement qui y est introduit est alors ionisé. Application : Nettoyage des résidus organiques sans COV Activation avant peinture, collage, encapsulage, ... Gravure du PTFE, de la laque photosensible, des couches d'oxyde, ...

Caractéristiques produit

Dimensions (appareil sur pied)
870 mm x 1860 mm x 1400 mm (LxHxP)
Chambre à vide (material)
Aluminium
Chambre à vide (dimensions)
env. Ø 640 mm, P 1000 mm (LxHxP) Pmax. 3 m
Chambre à vide (volume)
env. 320 litres
Chambre à vide (fermeture)
Porte à charnière, porte automatique
Alimentation en gaz
Débitmètres massiques (Mass-Flow-Controller (MFCs))
Mesure de pression
Pirani, Manomètre capacitif (pour version gaz corrosif)
Générateurs
80 kHz / 0 - 3000 W
Électrodes
Un ou plusieurs niveaux
Systèmes de commande
Full PC (Win.10 IoT)
Alimentation en tension
400 V / 50 - 60 Hz
Pompes à vide
Un ou plusieurs niveaux

Domain icon Fabricant/ Producteur

72224 Ebhausen - Allemagne

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