Analyseur de gaz résiduels

HPR-30 SERIES

Descriptif

Analyseur de gaz résiduels pour analyses de procédés sous vide - Gamme de masse : 200, 300 ou 510 amu - Mesure la composition des gaz de procédés sous vide : oui - Mesure de contaminations et détection de fuites : oui - Concentration minimale détectable : 5 ppb - Pression d'échantillonnage (standard) : 10-3 à 5 mbar - Pression d'échantillonnage (option) : <10-4 mbar - Vitesse de mesure : jusqu'à 500 mesures par seconde Domaine d'utilisation: Spectromètre de masse pour l'analyse des couches minces, des plasmas et l'élaboration de surfaces

  • Laboratoires - appareils et instruments
  • spectromètre de masse
  • analyse couches minces
  • analyse plasma

Caractéristiques produit

Systèmes d’échantillonnage de processus sous vide configurables et polyvalents
Analyse des tendances du processus
Options de gamme de masse 200, 300, 500 ou 1000 amu
Surveillance de la contamination

Domain icon Distributeur

69230 Saint Genis Laval - France

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